近日,貴金屬集團主導完成的科技成果《芯片用高純金和高純鉑蒸發(fā)材料制備關鍵技術及應用》獲得2023年度中國有色金屬工業(yè)科學技術獎科技進步一等獎。
該項目針對我國高純金和高純鉑蒸發(fā)材料純度低、缺陷多、流程長、能耗高等問題,開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權的芯片用高純金蒸發(fā)材料規(guī)則顆粒短流程制備新工藝,以及化學沉淀除雜——電位調控還原——離子交換——液相還原的全濕法制備高純鉑原料新工藝,流程簡短,雜質去除效果好,產(chǎn)品純度高,且大量減少NOx、HCl等有害物質排放,系國內首創(chuàng)。產(chǎn)品性能均滿足芯片制造要求,項目整體技術水平處于國際先進,部分技術指標達到國際領先,實現(xiàn)了高純金和高純鉑蒸發(fā)材料進口替代。
本項成果的取得,推動了我國貴金屬新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展,提升了企業(yè)市場競爭力,將為下游電子信息產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供更好技術及原料保障。